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运用热化学方法的研磨过程为：在 气氛中将铁质研磨盘加热到8℃，使金刚石与研磨盘接触并相对滑动，金刚石晶格中的碳原子会扩散到铁晶体晶格中，达到磨削金刚石的目的;进入铁晶格中的碳原子与 反应生成 并随气流散发到空气中。采用热化学方法的磨削速度为每秒4～2个原子层。无损伤机械化学抛光法。在NaOH溶液中加入一定量的细金刚石粉和更细(纳米级)的 ，带强负静电的 会吸附在比其大得多的单个金刚石微粒上，形成具有硅吸附层的金刚石研磨粉，然后将其涂敷在多孔的铸铁研磨盘上。